adirẹsi

1666 Jianye Road, High-tech Zone, Leshan City, Sichuan Provinice, China.

nomba fonu +86 15390206217

Awọn kemikali fun Awọn ilana Semikondokito

cc09bd33a0ddd2aadac4a8a4d3008a1Ṣiṣẹda semikondokito jẹ ilana ti o ni ibatan si kemikali pupọ, pẹlu to 20% ti awọn igbesẹ ilana ni mimọ ati igbaradi dada wafer:

A ṣe deede lati tọka si awọn ohun elo kemikali ti a lo ninu iṣelọpọ wafer bi awọn kemikali ilana, eyiti o wa ni oriṣiriṣi awọn fọọmu kemikali (omi ati gaseous) ati pe a ni iṣakoso ni mimọ ni mimọ.Awọn iṣẹ akọkọ ti awọn kemikali ilana jẹ bi wọnyi:

Mọ dada wafer pẹlu ojutu kemikali tutu ati omi ultrapure;

Doping silikoni wafers pẹlu ga-agbara ions lati gba P-iru tabi N-iru ohun elo ohun elo alumọni;

Ifipamọ ti awọn ipele olutọpa irin ti o yatọ ati awọn fẹlẹfẹlẹ dielectric pataki laarin awọn fẹlẹfẹlẹ adaorin;

Ṣe ina Layer SiO2 tinrin bi ohun elo dielectric ẹnu-ọna akọkọ ti awọn ẹrọ MOS;

Lo etching ti o ni ilọsiwaju pilasima tabi awọn reagents tutu lati yọ awọn ohun elo kuro ni yiyan ati ṣe apẹrẹ ti o fẹ lori fiimu naa;

Awọn reagenti mimọ-giga olomi ti pin si awọn onipò mẹta: UP-S, UP, ati EL gẹgẹ bi mimọ wọn, ati pe EL ti pin siwaju si:

Ipele itanna 1 (EL-Ⅰ)
ni akoonu aimọ irin ti 100-1000 PPb, eyiti o jẹ deede si boṣewa SEMI C1 C2;

Ipele itanna 2 (EL-Ⅱ)
akoonu aimọ irin rẹ jẹ 10-100 PPb, deede si boṣewa SEMI C7;

Ipele itanna 3 (EL-Ⅲ)
ni akoonu aimọ irin ti 1-10 PPb, eyiti o jẹ deede si boṣewa SEMI C7;

Ipele itanna 4 (EL-IV)
ni akoonu aimọ irin ti 0.1-1PPb, eyiti o jẹ deede si boṣewa SEMI C8;

Ultra-mimọ ati awọn reagents mimọ-giga ni a mọ ni kariaye bi awọn kemikali ilana, ti a tun mọ ni awọn kemikali tutu, ati pe o jẹ ọkan ninu awọn ohun elo kemikali ipilẹ akọkọ ninu ilana iṣelọpọ ti awọn iyika iṣọpọ (IC) ati awọn iyika iṣọpọ titobi pupọ (VLSI) .O ti wa ni tun lo fun ninu ati etching ti ohun alumọni wafer dada.Mimo ati mimọ ti olekenka-mimọ ati awọn reagents mimọ-giga ni ipa pataki pupọ lori ikore, awọn ohun-ini itanna ati igbẹkẹle ti awọn iyika iṣọpọ.Nibẹ ni o wa ọpọlọpọ awọn orisirisi ti itanna-ite kemikali ati ki o ga imọ awọn ibeere.O da lori idagbasoke ti imọ-ẹrọ microelectronics.Pẹlu idagbasoke ti imọ-ẹrọ microelectronics, o ndagba ni iṣiṣẹpọ tabi ṣaju akoko.Ni akoko kanna, o ṣe idiwọ idagbasoke ti imọ-ẹrọ microelectronics.


Akoko ifiweranṣẹ: Jun-23-2022